程彬
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沈鸿烈
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吴天如
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丁滔
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肖少文
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陆婷
人工晶体学报
本文以硅烷、乙炔和氢气为气源,采用热丝CVD法制备了非晶碳化硅薄膜.通过FITR、紫外-可见光分光光度计、四探针仪、台阶仪和霍尔效应测试仪对薄膜的光学和电学性能进行了系统的研究.结果表明,随着乙炔气体流量的增加,薄膜中碳含量和薄膜光学带隙呈现逐渐递增的趋势,其中光学带隙由1.7 eV上升到2.1 e...
关键词:
热丝CVD
,
非晶碳化硅
,
光电性能
薛伟江
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于娟
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丁滔
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张寿春
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王继刚
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2014.07.008
基于高能微波处理技术,在强烈的非稳态条件下对氧化石墨进行剥离/还原,实现了石墨烯的快速制备.结果表明,经功率为6kW微波辐照,在≤35kPa的低真空谐振腔中,只用10s左右即可实现氧化石墨片层快速彻底的剥离,并可实现原位还原.通过SEM,TEM,TG-DSC等的微观结构表征显示,多数产物层数在2～3...
关键词:
高能微波
,
真空
,
合成
,
氧化石墨
,
石墨烯
