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王怀义 , 刁训刚 , 王武育 , 杨海刚 , 丁破 , 郝维昌 , 王天民
功能材料
利用自行设计的基片液氮低温冷却装置,用金属Ni靶在Ar+O2气氛反应条件下,利用磁控溅射制备纳米微晶结构NiOx膜的方法,薄膜的XRD谱和扫描电子显微图像(SEM)表明,该方法实现了在溅射参数完全相同的条件,纳米NiOx薄膜结构连续可控、可调节.
关键词: 磁控溅射 , 纳米微晶 , NiOx薄膜
