付兴华
,
方舟
,
傅正义
,
单连伟
,
丁碧妍
,
韦其红
,
侯文萍
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.010
采用溶胶-凝胶法制备了Ba0.5Sr0.5NbzTi1-zO3薄膜(Nb=0-4.12mol%),采用HPAgilent 429A阻抗分析仪等测试方法研究了微量元素铌对Ba0.5Sr0.5NbzTi1-zO3(BSNT)薄膜介电性能的影响.当Nb分别为0-4.12mol%时,相对介电常数εr降低而介...
关键词:
SBT薄膜
,
介电常数
,
介质损耗
,
Nb施主掺杂
,
结构特征
付兴华
,
傅正义
,
丁碧妍
,
单连伟
,
韦其红
,
侯文萍
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2005.02.018
采用HPAgilent4294A阻抗分析仪、XRD、TEM等测试方法研究了不同电阻率硅片对Sr0.5Ba0.5TiO3(SBT)薄膜结构与性能的影响.在测试频率为1KHz时,在高阻硅片上生成的SBT薄膜的相对介电常数εr,介质损耗tanδ分别为100.54,0.060,材料的介电性能相对提高,并表现...
关键词:
硅基片
,
SBT薄膜
,
介电性能
,
结构特征