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一种用于FIA系统的微型泵

丁辛芳 , 刘岩海 , 刘新宁 , 何云爽

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.002

介绍了一种FIA（FlowInjectionAnalysis－流动注入分析）系统中的部件—微型振膜泵。该微型泵体采用无阀式的扩散管/喷嘴结构，由电磁—机械方式驱动振膜的振动，用干电池作电源。实验数据表明，该泵可在0～1.5ml/min（液体）流量范围内工作稳定，并具有结构简单、流量易于控制以及利于批量生产成本低廉等优点，有很好的应用前景。

关键词: 微型泵 , FIA系统 , MEMS