靳聪慧
,
史振亮
,
于威
,
丛日东
,
张瑜
,
宋登元
,
傅广生
人工晶体学报
以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀(RIE)技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响.结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失.在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥...
关键词:
反应离子刻蚀
,
锥型绒面结构
,
晶体硅
,
太阳能电池
丛日东
,
崔航
,
张健
,
崔啟良
无机材料学报
doi:10.15541/jim20160083
利用直流电弧等离子体方法制备出稀土氮化物ScN、YN微晶,这是一种快速、低成本、高产量的新方法,可用来制备稀土金属氮化物.结构物性表征和能谱成分分析结果表明,所制备的ScN晶体为满足化学计量比的单晶,而YN晶体为非化学计量比的多晶,其中Y的含量高于N.综合XRD、EDS、HRTEM和PL结果分析表明...
关键词:
直流电弧等离子体方法
,
ScN、YN微晶
,
化学计量比
,
非晶金属Y
