严垒
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马志斌
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曹为
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吴超
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高攀
,
张田田
人工晶体学报
在自主研发的小功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置上利用高温高压(HPHT)单晶金刚石片为衬底进行了金刚石同质外延生长的研究.研究了甲烷浓度、工作气压对金刚石生长速率的影响.测量了金刚石外延 生长过程中等离子体的发射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM)和数码相机对生长前后金刚石的形貌进行了表...
关键词:
高温高压
,
金刚石单晶
,
同质外延
严垒
,
马志斌
,
陈林
,
付秋明
,
吴超
,
高攀
新型炭材料
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在高温高压(HPHT)下制备的单晶片上进行单晶金刚石同质外延生长,研究了甲烷浓度和衬底温度对金刚石生长的影响.利用扫描电子显微镜与激光拉曼光谱仪对生长前后的样品进行表征.结果表明,利用HPHT单晶片上生长时,主要为层状生长和丘状生长模式,丘状生长易出现多晶...
关键词:
微波等离子体化学气相沉积
,
同质外延
,
单晶金刚石
