材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性

汤亮 , 李俊红 , 郝震宏 , 乔东海 , 汪承灏

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.016

采用直流磁控溅射的方法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器.x射线衍射结果显示ZnO压电薄膜C轴择优取向明显,衍射峰半高宽为0.1624°,显示出较好的结晶质量;扫描电镜分析观察到ZnO垂直于基片表面的柱形晶粒结构和较平滑的薄膜表面.体声波器件的电学测试结果显...

关键词: 氧化锌薄膜 , 压电 , 磁控溅射 , X射线衍射 , 体声波谐振器

2.4GHz射频薄膜体声波谐振器的研制

汤亮 , 郝震宏 , 乔东海

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.005

提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2.4GHz射频薄膜体声波谐振器,并进行了研究.采用修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟.给出了采用MEMS工艺制备器件的工艺流程,并利用射频网络分析仪对实验器件进行了测试.利用多点数值拟合的方法消除射频测试中引入的寄生分布参数,提取出器件...

关键词: 薄膜体声波谐振器 , 振荡器 , 滤波器 , 双工器 , 射频微机电系统

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词