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为能灵敏地测出深亚微米薄膜中的微小残余应力,对现有的圆环临界屈曲结构做进一步改进,并利用改进后的圆环结构测量3种不同厚度的深亚微米尺度薄膜残余应力。通过在线监测系统对释放过程进行观察并测量其临界腐蚀深度,然后借助ANSYS软件的特征值屈曲法计算出残余应力大小。改进后的测试圆环结构最终成功地测量出3种深亚微米尺度薄膜中10MPa以下的微小残余压应力,而制作在同一薄膜上的微旋转机构因在如此低的应力状态下未发生明显的形变而未能实现残余应力的测量。

关键词: 微小残余应力 , 深亚微米尺度薄膜 , 灵敏度

一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作

董鹏 , 苑伟政 , 乔大勇

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.008

针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构.引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性.63Ni放射源电镀实验最终得到了一组理想的短路电流和开路电压数据.结果表明,该结构与传统的能量转换结构相比有更稳定的功率输出.

关键词: MEMS , 同位素63Ni微电池 , 平板型能量转换结构 , 剥离工艺 , 源活度

一种新型基于MEMS的同位素微电池的研究

孙磊 , 苑伟政 , 乔大勇

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.015

介绍了同位素微电池的工作原理及结构组成.阐明了其从工作原理上区别于原有的核电池,采用和太阳能电池光生伏特相似的辐生伏特效应.对同位素微电池的工艺作了详尽的介绍.提出了使用垂直侧壁方孔阵列的能量转换结构,相比传统的同尺寸开口且等深的倒三角直槽型或倒金字塔型的能量转换结构表面积增大了120%以上;引入了电镀区这一新结构,增强了同位素微电池的工作稳定性.

关键词: MEMS , 放射性同位素微电池 , 辐生伏特 , 垂直侧壁方孔阵列 , 电镀区

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测量深亚微米薄膜内微小残余应力的测试圆环结构

一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作

一种新型基于MEMS的同位素微电池的研究

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