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离子束溅射法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜

胡倾宇 , 闻立时 , 赵航炜 , 乔桂文钱声伟 , 于宝海 , 杨巧勤 , 庄育智

材料研究学报

采用YBa_2Cu_3O_(7-x)靶材,用离子束溅射法在多种衬底上得到了接近化学计量的YBa_2Cu_3O_(7-x)单相超导薄膜。

关键词: 超导薄膜 , (?)on beam sputting