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离子液体辅助溶胶-凝胶法制备ZnO:Al透明导电薄膜及其光电性能研究

赵金博 , 吴莉莉 , 邹科 , 于伟燕 , 李高增

人工晶体学报

采用溶胶-凝胶法,以离子液体为辅助溶剂,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜.通过X-射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和霍尔效应等测试手段,分析了不同Al掺杂浓度ZAO薄膜的微观结构、光学和电学性能.结果表明,所制备的薄膜为非(002)...

关键词: 透明导电薄膜 , ZAO薄膜 , 离子液体 , 溶胶-凝胶 , 光电性能