宋卿
,
于兆勤
,
张永俊
,
王冠
表面技术
采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小.分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因.
关键词:
喷淋蚀刻
,
蚀刻液温度
,
喷淋压力
,
蚀刻深度
宋卿
,
张永俊
,
于兆勤
,
王冠
表面技术
目的 研究模具钢微细蚀刻中,蚀刻速率的变化规律.方法 采用蚀刻液喷淋加工方式,对掩膜的模具钢表面进行蚀刻,考察掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响. 结果 蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加,当掩膜尺寸大于150μm时,蚀刻速率增长较快;较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除,使得蚀刻反应充分,蚀刻速率较高;温度在一定范围内升高,蚀刻液活性增大,蚀刻效率提高,蚀刻速率增大.结论 最佳工艺条件为:掩膜间隙尺寸150 ～ 200 μm,蚀刻液喷淋压力1.0～1.4MPa,蚀刻液温度35～ 40℃.在此加工条件下,模具钢的蚀刻速率高,加工效率高,同时可以保证较好的蚀刻尺寸精度.
关键词:
微细蚀刻
,
模具钢
,
蚀刻速率
宋卿
,
于兆勤
,
王冠
,
郭钟宁
,
黄红光
腐蚀学报（英文）
对掩膜处理的模具钢进行喷淋微细蚀刻,观测表面微观结构,分析掩膜间隙尺寸、喷淋压力对侧蚀量的影响.实验表明,随着掩膜间隙尺寸的增大,侧蚀量增大,这是因为微结构凹坑内部蚀刻液的滞留和对O2阻碍作用,造成了不同部位蚀刻速率不同,发生侧蚀;喷淋压力增大也导致侧蚀量增加,因为较大压力下蚀刻液的侧向蚀除力大,侧向蚀除作用强,同时蚀刻液更新频率快,反应速率提高,侧蚀增大.在微细蚀刻加工中合理地选择掩膜间隙尺寸,控制加工时间和喷淋压力,可以较好地控制侧蚀,保证较高的加工尺寸精度.
关键词:
微细蚀刻
,
侧蚀
,
间隙尺寸
,
喷淋压力
何建文
,
霍俊超
,
于兆勤
电镀与涂饰
介绍了镀锡扁铜线的主要特点及加工难点,概述了国内外镀锡扁铜线的研究现状.评述了热镀、电镀、化学镀3种常用镀锡方法的优缺点.建议采用化学镀法对微细扁铜线进行镀锡.描述了3种化学镀锡方法(包括还原法、歧化法和浸镀法)的反应机理及特点.提出了一种化学浸镀锡工艺,其流程包括除油、活化、镀锡、烘干等,镀液配方为:SnCI2 25～30 g/L,NH2CSNH2 80～120g/L或CH3HSO3 5～8 g/L,NaH2PO2·H2O 60～100g/L,OP乳化剂2 mL/L,对苯二酚2～5 g/L.分析了该工艺的可行性.
关键词:
镀锡扁铜线
,
化学镀锡
,
浸镀法
