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化学气相沉积高纯钨的择优取向与性能研究

孙红婵 , 李树奎 , 于小东 , 谭成文 , 王富耻

稀有金属材料与工程

利用光学显微镜、X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜的电子背散射衍射花样(electronic backscatter ring diffraction,EBSD),对用化学气相沉积制备的高纯钨进行了微观结构和晶面取向分析:利用霍普金森压杆系统和电子万能试验机测试了高纯钨的动态和准静态力学性能.研究表明:化学气相沉积高纯钨具有柱状晶组织,并且具有明显的(100)择优取向;动态屈服强度达到2000 MPa以上,静态屈服强度约为1350 MPa,具有应变速率敏感性.

关键词: 化学气相沉积高纯钨 , 择优取向 , 应变速率敏感性

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