李帅
,
何迪
,
刘晓鹏
,
张超
,
王树茂
,
于庆河
,
邱昊辰
,
蒋利军
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12487
在316L不锈钢上采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法沉积了氧化铝涂层.使用XRD、SEM分析氧化铝涂层的物相和微观形貌,采用气相氢渗透装置对涂层氢渗透行为进行表征.结果表明,973 K退火处理后涂层为非晶氧化铝,涂层均匀、完整,厚度为190 nm.氧化铝涂层的氢渗透压力指数为0.56～0.78...
关键词:
氧化铝
,
MOCVD
,
氢渗透
,
316L不锈钢
