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N型半导体金刚石的研究现状与展望

李尚升 , 许安涛 , 王生艳 , 刘书强 , 于昆鹏 , 王健康 , 韩飞

人工晶体学报

作为半导体材料的金刚石具有宽的禁带宽度和高的热导率、介质击穿场强等优异性质,因此其应用前景广阔.P型金刚石发展较N型金刚石成熟.因为缺乏可实用的N型金刚石材料,这使得金刚石半导体器件的应用难以实现.因此N型半导体金刚石成为研究者关注的焦点.论文从掺杂元素和制备方法两方面详细介绍了国内外N型金刚石的研...

关键词: 金刚石 , N型半导体 , 掺杂

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