材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

电液动力微泵的实验分析

于翮 , 张强 , 俞坚 , 马重芳

工程热物理学报

本实验运用MEMS技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵-电液动力微泵,微泵由一组平面电极组成,施加直流来驱动流体.相关实验研究表明微泵的性能与施加电压、工作介质,电极结构和材料以及工作环境有关.

关键词: 电子冷却 , 微型电液动力泵 , 实验分析

微型电液动力泵的实验

孙翠霞 , 于翮 , 李德胜 , 俞坚

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.050

本研究在硅片上制作了有平面电极的微型电液动力泵并进行了实验研究.微泵由一组平面电极组成,施加直流电压驱动液体流动.分别采用HFE7100和无水乙醇作为工作流体进行了静压头测试.使用HFE7100时最高可以得到1050Pa的压头.

关键词: 电液动力泵 , MEMS , 离子拖曳

电液动力微泵的改进

于翮 , 俞坚 , 马重芳

工程热物理学报

介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括：材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为构建微流道的材料,采用浇注法制作了PDMS微流道,并采用阳极键合方式进行微泵的封装。使用无水乙醇为工作流体对微泵进行流动实验,在驱动电压为90 V时,电液动力微泵驱动流体的最大流速可以达到92 uL/min。

关键词: 微型电液动力泵 , PDMS , 封装 , 电子冷却

内置式微型电液动力泵的研究

于翮 , 孙翠霞 , 俞坚

工程热物理学报

本文介绍了一种新型电子冷却技术-微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.

关键词: 电子冷却 , 微型电液动力泵 , 传热

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词