李丽
,
吴卫
,
金永中
,
于越
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.01.023
为了研究在磁控溅射工艺中溅射电流和溅射时间恒定的情况下,氩气工作压强的变化对钛膜在基底表面沉积的影响,通过用原子力显微镜分析钛膜的厚度和均方根粗糙度的方法来进行.结果表明:工作压强达到1.1Pa后, Ti膜的厚度及均方根粗糙度都随压强的增大而减小.由此说明,工作压强的变化对钛膜沉积有较大影响.
关键词:
Ti膜
,
磁控溅射
,
工作压强
,
均方根粗糙度
于越
,
吴卫
,
冯再
,
李丽
中国稀土学报
用量子磁强仪对Cd0.6Dy0.4Co2-xAlx(x=0,0.1)系合金的居里温度、磁相变、磁熵变等磁性质进行了研究.结果表明:该系合金居里温度随着X量的引入而增加;热处理后,X=0,0.1合金由双相晶体结构基本变为单相晶体结构,磁熵变比铸态合金分别提高53.2%和33.1%,居里温度基本不变.铝元素的加入并没有改变合金的相变类型,合金仍保持二级相变.
关键词:
居里温度
,
磁熵变
,
磁相变
,
磁热效应
,
稀土
