付爽
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胡龙龙
,
孟庆伟
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丁士进
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范仲勇
功能材料
采用紫外光辐照超低介电常数多孔SiCOH薄膜,研究不同照射时间对薄膜结构和性能的影响。采用动态纳米压入技术测量薄膜的力学性能,发现随照射时间增加,薄膜的模量(Er)和硬度(H)不断提高。当辐照时间增至6h时,薄膜力学强度分别达到Er约7.4GPa,H约1.0GPa。傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、X射线光电子能谱(XPS)分析表明紫外辐照处理能够使薄膜样品中发生键的断裂与重新结合,从而改变了薄膜骨架的交联密度和刚性,进而提高力学性能。但介电性能并未受到明显影响,紫外辐照6h后,k值仅从2.0增至2.2。
关键词:
紫外辐照
,
多孔SiCOH薄膜
,
力学性能
,
低介电常数
刘静
,
秦国伟
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蒲春生
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高睿
,
王淑海
,
付爽
功能材料
应用动态流变实验测定了温敏共聚物的流体特性,分析其在溶胶-凝胶转变过程共聚物溶液随温度变化形成凝胶机理。以室内合成的四元共聚物溶液为基础,采用动态流变实验测定了该共聚物溶液在不同温度、浓度下的剪切模量和损耗模量的变化,确定了凝胶特性,并与试管倒置法比较了凝胶温度。实验结果表明,临界温度为143℃,在一定浓度下(高于接触浓度C*),低于此温度共聚物溶液具有一般粘性流体特性;高于此温度可形成凝胶网络结构;溶液在测试温度(65~240℃)内,其损耗角从56.27°逐渐变为31.04°,溶液体系从粘性流体逐渐到粘弹性流体过渡;说明该溶液在一定浓度下具有温敏特性。
关键词:
温敏凝胶
,
流变性
,
剪切模量/损耗模量
,
凝胶温度/凝胶强度