周筱桐
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肖汉宁
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刘井雄
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张海峰
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付银元
机械工程材料
以稀土硫酸盐为原料,用草酸沉淀法制备了稀土草酸盐,然后在不同工艺下煅烧得到稀土氧化物(即稀土抛光粉);通过热重-差示扫描量热(TG-DSC)仪、XRD、TEM、抛光机等研究了稀土草酸盐的热分解行为和稀土氧化物晶粒的晶化过程、微观形貌和抛光性能.结果表明:经不同温度煅烧后的稀土氧化物晶相均为立方CeO2,550℃煅烧3h得到结晶不完整的空心球形颗粒,而950℃煅烧则得到晶粒发育较完整、带有明显棱角的类球形实心颗粒;抛蚀速率随煅烧温度升高和保温时间延长而增加,但提高温度的效果更显著,经950℃煅烧3h的抛光粉的抛蚀速率最高,达到368 nm· min-1.
关键词:
稀土草酸盐
,
煅烧工艺
,
热分解
,
颗粒形貌
付银元
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肖汉宁
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欧阳唐哲
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周筱桐
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张海峰
硅酸盐通报
为改善CeO2粉体的化学机械抛光(CMP)性能,采用聚乙烯亚胺(PEI)作为分散剂,对CeO2粉体表面进行改性,通过傅立叶红外光谱(FTIR)、透射电镜显微镜(TEM)、Zeta电位仪、激光粒度仪及稳定性测试等方法分析了表面改性对CeO2颗粒表面性质及其抛光液分散稳定性的影响.结果表明:纳米CeO2粉末经PEI改性后改变了其在水中的胶体性质,Zeta电位绝对值提高,CeO2颗粒间的空间位阻增加,抛光液的分散稳定性得到了明显改善.改性后纳米CeO2抛光液对手机面板玻璃的化学机械抛光(CMP)的抛光效率(MRR)由改性前的330 nm/min增加到381.6nm/min,具有更好的抛光效果.
关键词:
氧化铈
,
表面改性
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聚乙烯亚胺
,
抛光效率
