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SiNx:Tb3+薄膜中Tb3+与银表面等离激元耦合

任常瑞 , 胡翔 , 李东升 , 杨德仁

材料科学与工程学报

本文采用PECVD方法在石英衬底上生长不同剂量比的氮化硅薄膜SiNx,并利用离子注入方法在SiN2中注入Tb3+离子.然后通过在SiNx薄膜表面沉积银岛膜,研究了银表面等离激元和SiNx:Tb3+发光的相互作用.研究发现,银岛膜的存在降低了SiNx:Tb3+发光荧光寿命,而且SiNx:Tb3+发光荧...

关键词: SiNx:Tb3+薄膜 , 银岛膜 , 衰减时间 , 表面等离激元