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检索条件：作者=任瑛
任瑛 , 张贵锋 , 侯晓多 , 姜辛
机械工程材料
采用热丝化学气相沉积方法,以Ar+CH4+H2混合气体作为气源,通过改变氢气浓度,在单晶硅(100)基片上沉积纳米金刚石膜;采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分析了纳米金刚石膜的形貌、微结构以及残余应力.结果表明:随着氩气浓度的增大,膜的晶粒尺寸逐渐减小到纳米级;由于晶粒细...
关键词: 纳米金刚石膜 , 热丝化学气相沉积 , 氩气浓度
张婷 , 何娟 , 任瑛 , 邹文俊
材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.01.014
类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落.这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效.因此,缓解残余应力是类金刚石薄膜急需解决的问题和实际应用的需要.介绍了类金刚石薄膜残余应力的产生,对国内外调控残余应力的途径以及研究进展进行综述.使用有限元分析法模拟薄膜的残余...
关键词: DLC薄膜 , 残余应力 , 有限元分析法
