伍达将
,
唐吉玉
,
崔婧
,
刘洋
,
朱永安
功能材料与器件学报
本文利用各向同性的周期性四方形基底,模拟了沉积能量与沉积速率对薄膜三维形貌的影响.模型主要分析了原子沉积、吸附原子扩散和原子脱附三个过程,同时详细地考虑了四方形基底的最近邻和次近邻的影响.结果表明:沉积能量对薄膜粗糙度、衬底填充比、岛的个数都有明显的影响.沉积速率对薄膜粗糙度的影响较小,在低沉积能量下对填充比和岛的个数影响较小,在高沉积能量下对填充比和岛的个数影响较大.在高沉积能量高沉积速率下,为了提高成膜质量,同时保证成膜效率,适当降低沉积速率比适当降低沉积能量更有效.
关键词:
沉积能量
,
沉积速率
,
粗糙度
,
填充比
张正超
,
唐吉玉
,
崔婧
,
伍达将
,
董贵仁
功能材料与器件学报
考虑到基底原子位置高低不等和位置无序等现象引起的基底与吸附原子之间相互作用能的非均一性对三维薄膜初期生长二层以上原子的影响,本文建立了一个非均匀基底上的三维薄膜初期生长模型,研究了FCC(100)衬底上沉积速率、沉积能量、非均一性离散程度和分布形态等因素对三维薄膜初期生长的影响.由于基底非均匀分布的无规则性,文中将其拟合为一定范围内的随机分布.模拟结果显示:中等温度(T=450K)下相互作用能的非均一性对三维薄膜的初期生长有显著的影响;适当的增加基底不均一性离散程度和分布形态的凹凸程度对薄膜初期生长机制和岛数目都有重要影响.
关键词:
薄膜
,
相互作用能的非均一性
,
离散程度
,
分布形态
