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检索条件：作者=何乃如
吴劲峰 , 何乃如 , 邱孟柯 , 吉利 , 李红轩 , 黄小鹏
功能材料
采用非平衡磁控溅射技术在AISI202不锈钢片和P(111)单晶硅基底上制备了TiAlN薄膜,并利用场发射扫描电镜(FESEM)、三维轮廓仪、X射线衍射仪(XRD)、X射线电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了考查.结果表明,随着N2流量的升高,TiAlN薄膜的沉积速率降低,Al/...
关键词: 磁控溅射 , TiAlN薄膜 , N2流量 , 微观结构 , 硬度
何乃如 , 王飞飞 , 吉利 , 李红轩 , 陈建敏
中国表面工程 doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.06.010
为了研究Ti和Cr元素在Cr2O3薄膜中的扩散行为及其对摩擦学性能的影响,对Cr2O3薄膜在l 000℃大气环境下进行不同保温时间的退火处理.利用扫描电子显微镜、三维轮廓仪、X射线衍射仪以及透射电镜对薄膜的表面形貌、成分以及结构进行分析,采用球盘式摩擦磨损试验机对Cr2O3薄膜的摩擦学性能进行研究....
关键词: Cr2O3薄膜 , 元素扩散 , 类网状凸起结构 , 摩擦与磨损
