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IBAD薄膜与基体界面的显微结构

陶琨 , 何向军 , 江海 , 范玉殿 , 李恒德

材料研究学报

采用中能离子束辅助沉积(IBAD)技术,在单晶Al2O3(0001)基片上沉积Mo膜,在GaAS(001)基片12合成Fe16N2薄膜用HREM等研究了Mo膜-Al2O3(0001)、Fe16N2膜-GaAs(001)界面的显微结构结果表明:Mo膜的晶粒呈细小性状或纤维状,晶粒平均尺寸约8nm,Fe...

关键词: 离子束辅助沉积(IBAD) , null , null