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SrTiO3薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究

姬洪 , 左长明 , 何士明 , 熊杰 , 李言荣

功能材料

本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO3膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO3系列样品生长工艺有重要的意义.

关键词: 高分辨X射线衍射 , 外延生长 , 弛豫态的点阵常数

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