覃
,
明
,
嵇宁
,
李家宝
,
马素媛
,
陈昌荣
,
宋忠孝
,
何家文
金属学报
利用X射线拉伸实验研究了具有二维残余应力的Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系. 结果表明, Cu附着膜的条件屈服点随着退火温度的增高而减小, 退火温度在150---300 ℃间变化时, 减小幅度最大, 出现明显的拐点.这主要由于Cu附着膜在该温度范围内发生了再结晶, 使得原有的大部分组织结构强化因素消失了. Cu附着膜的屈服强度远远高于块体Cu材的屈服强度.
关键词:
Cu膜
,
biaxial stress
,
yield strength
覃明
,
嵇宁
,
李家宝
,
马素媛
,
陈昌荣
,
宋忠孝
,
何家文
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2004.07.008
利用X射线拉伸实验研究了具有二维残余应力的Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系.结果表明,Cu附着膜的条件屈服点随着退火温度的增高而减小,退火温度在150-300℃间变化时,减小幅度最大,出现明显的拐点.这主要由于Cu附着膜在该温度范围内发生了再结晶,使得原有的大部分组织结构强化因素消失了.Cu附着膜的屈服强度远远高于块体Cu材的屈服强度.
关键词:
Cu膜
,
二维应力
,
屈服强度
,
退火温度
,
X射线拉伸实验
唐宾
,
刘道新
,
胡奈赛
,
何家文
无机材料学报
利用离子束增强沉积技术， 在 Ｓｉ （１１１） 和 Ｇ Ｃｒ１５ 轴承钢基体上沉积 Ｃｒ Ｎ 镀层研究氮分压、 Ｎ＋ ＋ Ｎ＋２ 离子轰击能量和 Ｎｉｏｎｓ Ｃｒ ａｔｏｍｓ 到达比对镀层组织结构的影响结果表明， Ｃｒ- Ｎ 镀层组织对氮分压敏感， 随着氮分压的增加， 镀层中 Ｃｒ Ｎ 组份增加， 金属 Ｃｒ 及 Ｃｒ２ Ｎ 组份减少； 随着氮离子轰击能量的增加， Ｃｒ- Ｎ 镀层中 Ｃｒ Ｎ （２００） 择优生长； 但当 Ｎ ｉｏｎｓ/Ｃｒ ａｔｏｍｓ 比从１４５ ×１０ － ２ 增至５.８７ ×１０ － ２ 时， 镀层中 Ｃｒ Ｎ 组份非但没有增多， 反而使镀层中的 Ｃｒ 以 Ｃｒ２ Ｏ３ 形态存在.
关键词:
离子束增强沉积
,
null
,
null
,
null
赵蕾
,
付永辉
,
刘登益
,
朱晓东
,
何家文
无机材料学报
采用离子束辅助磁控溅射技术(IBMSD)制备了高硬度、低电阻率的类石墨碳膜(GLC), 用TEM和XRD考察其组成相, 用XPS、FTIR和电阻率间接确定其碳键结构, 并测定了不同气体和离子能
量辅助轰击下制备的几组薄膜的沉积速率、成分、硬度和粗糙度等. 结果表明: 采用IBMSD制备的GLC是一种以sp2键为主的非晶硬质碳膜. CH4辅助轰击较Ar有利于提高沉积速率.
辅助轰击能量的增大使薄膜表面粗糙度先减小后增大, 硬度的变化一定程度上与粗糙度相关.
关键词:
离子束辅助沉积(IBAD)
,
magnetron sputtering
,
amorphous carbon coating
,
structure
白力静
,
蒋百灵
,
文晓斌
,
张国君
,
何家文
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2005.04.028
采用SEM和XRD法,分析了磁控溅射CrTiAlN梯度镀层的表面与断口形貌及其相组成随加热温度的变化规律.研究表明:CrTiAlN镀层在600℃之前物相和组织结构保持稳定,随后的升温过程中有相变行为,随着温度的升高,物相由以致密的非晶态物质为主,依次出现CrN、Cr2O3相和AlN等物相;相变的发生有利于镀层保持高温硬度和结合力.加热至900℃时,尽管在镀层表面观察到微区融化现象,但膜基结合紧密;加热至1100℃时镀层表面出现开裂并伴有剥落现象.从温度对镀层的氧化形貌及物相、组织转变机理分析,CrTiAlN梯度镀层在≤900℃时有良好的热稳定性.
关键词:
氧化
,
磁控溅射
,
梯度镀层
张铭
,
何家文
中国有色金属学报
首先用Kroner模型计算了具有丝织构的TiN薄膜的弹性矩阵。 当材料具有较强的丝织构时， 材料弹性矩阵的对称关系将发生变化， 得到的弹性矩阵与各向同性同种材料的弹性矩阵相差很大， 相同分量的值一般相差在13～20 GPa之间。 然后计算了TiN薄膜的弹性常数曲线随ψ角的分布。 当应力测试方向不同时， 即使是同一晶面， 弹性常数也会产生差异， 而且弹性常数随ψ角的分布在低ψ角区发生了弯曲。 计算的TiN薄膜X射线弹性常数曲线的弯曲情况与实测的PVD TiN薄膜应力测试曲线相似。
关键词:
弹性矩阵
,
丝织构
,
薄膜
,
X射线衍射
田林海
,
宗瑞磊
,
朱晓东
,
唐宾
,
何家文
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2006.05.009
应用低能离子束辅助磁控溅射(IBAMS)沉积铬-铜-氮薄膜,研究了铜含量和轰击能量对薄膜结构、硬度和断裂韧度的影响.结果表明:在相同的轰击能量(400eV)下,铜含量对薄膜结构和硬度的影响不明显,但是铜的加入有利于提高薄膜的断裂韧度;离子辅助轰击能量从400 eV增加到800 eV时薄膜的结构发生了显著变化,断裂韧度和硬度均大幅度提高.
关键词:
离子束辅助磁控溅射
,
铬-铜-氮薄膜
,
硬度
,
断裂韧度
黄鹤
,
朱晓东
,
徐可为
,
何家文
稀有金属材料与工程
用TiCl4作为反应气体制备PCVD TiN镀层,对降低界面的氯含量,改善PCVD TiN镀层的界面性能进行了研究.在镀层制备过程中增加了界面制备过程,即采用氩离子轰击以及氢的反应使界面的氯含量降低,膜基界面得到改善.结果表明,与常规PCVD制备的TiN镀层相比,膜层的结合强度有大幅度的提高,耐磨性和耐蚀性均有改善,特别是其耐蚀性达到甚至超过奥氏体不锈钢的水平.
关键词:
PCVD
,
TiN
,
界面
,
镀层
,
结合强度
,
腐蚀
,
磨损
