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氮化硅薄膜的光致发光机制

何贤模 , 徐明 , 芦伟

材料导报

SiNx的结构和性能都会随x值发生显著变化,尤其是薄膜的发光性质.同时,在不同条件下制备的SiNx薄膜中都观察到了可见光致发光现象,研究者提出了相应的机制予以解释.总结了近十年来关于SiNx薄膜的光致发光研究进展,评述了其各种发光机制.

关键词: 氮化硅薄膜 , 光致发光 , 机制