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TiC/a-C:H薄膜的性能研究

余宇楠 , 宋贵宏 , 沈波涛

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.03.008

在电弧离子镀技术沉积富碳TiC薄膜的过程中研究了不同乙炔流量对沉积膜的形貌、成分性能的影响.结果表明,利用电弧离子镀技术在铝合金衬底上能够成功的沉积出含有富碳的TiC膜层,并且沉积的薄膜与衬底的结合良好.实验表明,随沉积时乙炔流量的增大,膜层中C和Ti原子比逐渐增加,同时膜层成分由较纯的TiC结构的...

关键词: 电弧离子镀 , TiC薄膜 , 非晶碳薄膜