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石墨烯薄膜的前驱气体预热化学气相沉积快速制备方法

余崇圣 , 魏大鹏

功能材料 doi:10.3969/ji.ssn1.001-97312.0151.60.19

石墨烯具有优异的光学、电学和力学等性能而备受人们关注，但是目前石墨烯材料受产量、尺寸和均匀性等因素的限制，以至于在终端产品上还没有形成真正的应用。主要阐述了一种利用前驱气体预热化学气相沉积法（PT‐CVD）快速制备大面积单层石墨烯薄膜方法，实现石墨烯薄膜批量制备和大面积转移在300 m m ×300...

关键词: 石墨烯 , 前驱气体预热化学气相沉积 , 触控面板