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激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2

张晋敏 , 谢泉 , 余平 , 张勇 , 肖清泉 , 杨子义 , 梁艳 , 曾武贤

功能材料

用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的Si(100)衬底上沉积Fe膜,随后采用脉冲激光扫描进行退火,X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响.测量结果证实直接形成了Fe-Si化合物系的富硅高温相α-FeSi2,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密...

关键词: 磁控溅射 , 激光扫描退火 , 结晶性质 , 显微结构