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液相等离子体电沉积制备类金刚石薄膜

李巧梅 , 罗北平 , 黄锋 , 许友 , 余红霞 , 武鹄

电镀与涂饰

采用等离子体电沉积法在水-乙醇电解液中制备了类金刚石(DLC)薄膜,工艺条件为:乙醇和水的体积比4∶1,KCl3 g/L,电流密度500 ～ 800mA/cm2,电压1 500V,时间4h.研究了电流密度和电极间距对DLC薄膜的显微硬度、厚度和表面形貌的影响.结果表明,电流密度和电极间距都对电极表面...

关键词: 类金刚石薄膜 , 等离子体电沉积 , 电流密度 , 极间距