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检索条件:作者=余长军  

  • 论文(1)

轴向磁场对硅单晶Czochralski生长过程的影响

李友荣 , 余长军 , 吴双应 , 彭岚

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2005.03.005

利用有限元方法对炉内的传递过程进行了全局数值模拟,假定熔体和气相中的流动都为准稳态轴对称层流,熔体为不可压缩流体,Cz炉外壁温度维持恒定,模拟磁场强度范围为(0~0.3)T,研究了用Czochralski(Cz)法生长单晶硅轴向磁场对熔体流动和氧传输过程的影响.结果表明:轴向磁场可有效地抑制熔体内的...

关键词: 材料科学基础学科 , 全局分析 , 有限元方法 , 硅Cz炉 , 轴向磁场