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氧对磁控溅射制备InN薄膜带隙的影响

石相军 , 汪健 , 朱洁 , 侯祥胡

功能材料与器件学报

本文用射频磁控溅射技术,以金属铟为靶材,在石英玻璃上制备出了InN薄膜,溅射气体为氩气(Ar)和氮气(Nz)的混合气体,溅射压强为0.5Pa~1.0Pa.InN晶体呈六方纤锌矿结构,随着压强的不同,晶体取向发生明显的变化,制得的InN薄膜的带隙为2.1eV ~2.3eV.X射线光电子能谱(XPS)和拉曼(Raman)分析氧原子以类似In2O3的形式存在,其存在会引起InN晶体质量变差,致使InN的带隙明显升高.

关键词: 射频磁控溅射 , InN , 带隙 , In2O3

机械合金化制备Fe-Si-Al软磁合金的研究

郭世柏 , 康启平 , 侯祥胡

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2009.06.009

采用机械合金化制备Fe85-Si9. 5-Al5. 5合金粉末, 利用金相仪、激光粒度分析仪、 SEM和XRD研究了球磨时间及烧结工艺对Fe-Si-Al合金断裂形貌、微观组织及力学性能的影响. 试验结果表明, 将球磨10 h的复合粉末冷压成形后, 烧结温度为1350 ℃, 保温2 h, 可获得综合性能最佳的Fe-Si-Al合金, 致密度达99.6%、抗弯强度为801 MPa, 硬度为65.68HRA.

关键词: 机械合金化 , Fe-Si-Al合金 , 微观组织 , 力学性能

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