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非晶碳氢薄膜结构及光学间隙

刘东平 , 李芳 , 俞世吉 , 马腾才

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2000.02.014

利用完全抑制网络结构(FCN)对氢化非晶碳(α-C :H)膜组成进行模拟计算,得出形成质密α-C:H膜条件是H、SP2C和SP3C在其三元相图中应在一个三角形区域内.大量实验数据表明,模拟结果与实验结果相当吻合.在α-C:H中主要存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构,它们相对含量在三角形区域内变化.该理论模拟对薄膜光学间隙的实验分析给予了很好的解释.

关键词: 氢化非晶碳膜 , 完全抑制网络结构 , 光学间隙

折叠波导行波管铪栅极退火温度及其性能

马天军 , 陈振海 , 俞世吉 , 孙建海 , 伊福廷 , 刘濮鲲

材料热处理学报

在充分考虑电子枪栅极的工作环境后,对铪(Hf)栅极进行了800、900和1000℃的真空退火处理,对其组织、织构特点进行了分析,并利用离子束辅助沉积技术在Ba-W阴极表面分别沉积金属钼膜和铪膜,以模拟栅控行波管中钼栅极和铪栅极表面吸附阴极蒸发物质时的表面状态,测试了这两种栅极表面“热电子发射”能力和“二次电子发射”系数.结果表明,随着退火温度的升高,铪(Hf)栅极的结晶度、晶粒尺寸增加,织构减少,铪的最佳退火温度为900℃,铪栅极表面吸附的阴极发射物质要远少于钼栅极,用金属铪作栅极材料能有效抑制栅电子发射.

关键词: 退火 , , 织构 , 栅发射 , 二次电子发射

致密非晶碳氢薄膜的结构

刘东平 , 俞世吉 , 马腾才

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.05.021

利用完全抑制网络结构(FCN)模拟计算氢化非晶碳(a-C:H)膜的组成.形成致密a-C:H膜的条件是H、sp2C和sp3C应在其三元相图中的一个三角形区域内.实验数据表明,模拟结果与实验结果吻合得很好.在a-C:H中存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构,它们的相对含量在三角形区域内变化.该理论模拟对薄膜光学间隙的实验分析给出了很好的解释.

关键词: 非晶碳膜 , 网络结构

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