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SrRuO3导电层对快速退火制备Pb(Zr,Ti)O3薄膜结构和性能的影响

王宽冒 , 刘保亭 , 倪志宏 , 赵敬伟 , 李丽 , 李曼 , 周阳

人工晶体学报

采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上,制备了Pt/Pb(Zr,Ti)O3(PZT)/Pt和SrRuO3(SRO)/PZT/SrRuO3(SRO)异质结电容器,并研究了快速退火条件下SRO导电层对PZT结构和性能的影响.XRD测试表明,两种结构电容器中的PZT薄膜均为钙钛矿结构,SRO/...

关键词: 钌酸锶 , 锆钛酸铅 , 快速退火