陈新亮
,
王斐
,
闫聪博
,
李林娜
,
林泉
,
倪牮
,
张晓丹
,
耿新华
,
赵颖
材料导报
阐述了玻璃衬底、柔性衬底透明导电氧化物薄膜(Transparent conductive oxides-TCO)以及硅基薄膜太阳电池应用方面的最新研究成果.绒面结构可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本.磁控溅射技术和LP-MOCVD技术是制造绒面结构ZnO-TCO薄膜(例如“弹坑”状和“类...
关键词:
镀膜技术
,
TCO薄膜
,
绒面结构
,
高迁移率
,
缓冲层
,
梯度掺杂
,
薄膜太阳电池
李天微
,
张建军
,
曹宇
,
倪牮
,
黄振华
,
赵颖
人工晶体学报
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在200℃的衬底温度下,以SiH4和GeH4为反应气体,H2和He为稀释气体,制备微晶硅锗(μc-Si Gex∶H)薄膜.结合Raman,XRF,FTIR,AFM等测试,我们分析了不同流量He的掺入对高锗含量(Ge含量～40％)μc-Si1-...
关键词:
微晶硅锗薄膜
,
等离子体增强化学气相沉积
,
He稀释
