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离子轰击对准直碳纳米管生长的影响

党纯 , 王必本

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.028

利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统,在辉光放电的情况下制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了不同负偏压对准直碳纳米管生长的影响.结果表明随着负偏压的增大,准直碳纳米管的平均直径减小,平均长度增大.由于辉光放电的产生,在衬底表面附近形成阴极鞘层,以及在阴极鞘层内形成大量的离子和在衬底表面附近形成...

关键词: 准直碳纳米管 , 离子轰击 , 负偏压