冉祎
,
兰天石
,
覃攀
,
戴晓雁
,
印永祥
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2007.04.025
区别于改良西门子法、硅烷法、碳热还原法、区域熔炼法等多晶硅生产工艺,利用等离子体技术,建立了以硅的氯化物为原料,一步法制备多晶硅的实验装置和工艺流程,并在此基础上进行了粒状多晶硅制备的实验.实验表明,SiCl4单程转化率超过70%,多晶硅选择性60%.利用XRD、SEM、AS等分析手段,对所得产物进...
关键词:
多晶硅
,
等离子体
,
四氯化硅
,
一步法
,
西门子法
