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钛掺杂对ZnO∶Ti透明导电薄膜性能的影响

顾锦华 , 汪浩 , 兰椿 , 钟志有 , 孙奉娄 , 杨春勇 , 侯金

人工晶体学报

以不同钛掺杂含量的氧化锌陶瓷靶作为溅射源材料,采用射频磁控溅射工艺在玻璃基片上沉积了Ti掺ZnO(TZO)透明导电薄膜,通过XRD、XPS、分光光度计和霍尔效应测试系统,研究了钛掺杂含量对TZO薄膜微观结构和光电特性的影响.结果表明:所有TZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且具有(002)择优取向,钛掺...

关键词: 磁控溅射 , ZnO∶Ti , 透明导电薄膜