才勇
,
关海平
,
宣丽
,
黄锡珉
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.04.006
采用向列相液晶和在光照下可发生相分离的预聚物单体组成的混合物, 分别应用掩膜版法和光刻电极图形法制作的夹层结构液晶盒, 在不同条件下经紫外光辐照发生相分离, 形成聚合物栅和墙结构.系统研究了不同的单体种类、单体含量、 UV光强、聚合温度对聚合物栅和墙结构的影响, 比较了两种方法形成的栅和墙结构的效果.最后给出作为光学衍射器件使用的衍射效果.
关键词:
掩膜版
,
光刻
,
相分离
,
聚合
,
光栅