冀林仙
,
聂合贤
,
苏世栋
,
陈苑明
,
何为
电镀与涂饰
doi:10.19289/j.1004-227x.2017.09.001
采用多物理场耦合方法建立了旋转圆盘电极(RDE)电镀酸铜的模型,分析了电解池内不同RDE转速下的流场分布与扩散层分布特征,探讨了镀铜过程中RDE的转速及尺寸对电极表面电流密度与镀层厚度分布的影响,为电镀件表面电流密度分布和镀层厚度均匀性的研究提供理论指导.
关键词:
酸性镀铜
,
旋转圆盘电极
,
多物理场耦合
,
电流密度分布
,
厚度均匀性
,
数值模拟
