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声表面波在AlN/GaN中的传播特性分析

荆二荣 , 冯士维 , 郝伟

材料导报

从矩阵方法的基本原理出发,结合AlN/GaN结构的机械和电学边界条件,推导出用于求解声表面波在AlN/GaN结构中的相速的行列式方程.通过求解该行列式方程,分析了声表面波在AlN/GaN结构中的传播特性,包括声表面波相速和机电耦合系数随频率、AlN的膜厚和c轴取向的变化规律.AlN/GaN结构减弱了...

关键词: 声表面波 , 矩阵方法 , 相速 , 机电耦合系数