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磁控溅射PbSe薄膜厚度对其结构及光学特性的影响

王晓阳 , 冯文然 , 周海 , 姚静 , 李健

人工晶体学报

本文利用射频磁控溅射法在200℃的玻璃衬底上沉积了纳米晶PbSe薄膜,薄膜厚度分别为200 nm、250 nm、500 nm及600 nm.利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)及紫外-可见分光光度计,分别研究了不同厚度PbSe薄膜的晶体结构、表面形貌和光学特性.结果表明:随膜厚增大,P...

关键词: PbSe薄膜 , 磁控溅射 , 膜厚 , 光学性能