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三氧化钨纳米材料在二氧化氮气敏传感器中的研究进展

闫爱华 , 李臻 , 蔡小平 , 冯昊 , 赵辉 , 黄飞

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.021.001

三氧化钨(WO3)因其氧含量与氧缺陷随着环境因素变化而变化,使得其成为一种理想的二氧化氮(NO2)气敏材料.简要介绍了WO3材料的结构、特性和NO2气敏机理,综述了近5年来高性能WO3气敏材料在NO2气体检测中的最新研究进展,分析了WO3气敏材料存在的主要问题与挑战,重点讨论高比表面积WO3材料、WO3复合材料等的解决途径.最后,展望了WO3气敏材料在NO2气敏传感器中的发展方向和应用前景,提出了开发低电阻WO3膜电极是未来高性能NO2传感器的研究重点.

关键词: 三氧化钨 , 纳米材料 , 二氧化氮 , 气敏传感器

原子层沉积技术合成氧化铝薄膜包覆二硝酰胺铵

龚婷 , 秦利军 , 严蕊 , 胡岚 , 姬月萍 , 冯昊

无机材料学报 doi:10.15541/jim20130572

通过原子层沉积(ALD)技术以三甲基铝和水作为前驱体在二硝酰胺铵(ADN)表面沉积氧化铝包覆膜。分别采用扫描电子显微镜(SEM), X射线光电子能谱(XPS)对包覆后ADN的表面形貌、化学成分进行了分析,通过蒸汽吸附分析仪(VSA)对包覆氧化铝薄膜的ADN样品进行了吸湿性测试,并且对ADN表面氧化铝薄膜生成机理进行了探讨。结果表明:ALD氧化铝薄膜对ADN表面形成了完整的包覆,薄膜厚度最高可达数百纳米。包覆有ALD氧化铝薄膜的ADN样品暴露在潮湿空气中48 h形貌不发生明显变化。在25℃,湿度70%的环境条件下, VSA测得包覆200和400周期氧化铝薄膜的ADN吸湿率分别为40.99%和40.75%。以上研究结果表明,尽管ALD氧化铝对ADN表面实现了完整包覆并在潮湿空气中维持了样品形貌,被包覆的ADN样品吸湿性尚未获得明显改善。

关键词: 原子层沉积(ALD) , 二硝酰胺铵(ADN) , 氧化铝 , 吸湿性

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