沈以赴
,
邓瑞翔
,
陈成
,
冯晓梅
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韩林轩
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田精明
,
贺春锋
稀有金属材料与工程
采用高能行星球磨机在纯铜基体表面制备了具有一定厚度的W颗粒增强复合层.采用SEM、EDS、XRD和显微硬度测试等分析测试技术分析了不同球磨时间下得到的复合层的沉积过程及复合层的显微组织及力学性能,并对复合层的形成机理进行了探讨.结果表明,颗粒增强复合层的厚度在一定球磨时间内达到最大值,之后不再随着球磨时间的增加而增加.然而适当延长球磨时间能改善复合层内增强颗粒和基体间的结合强度,并在一定程度上改善W层的致密度.
关键词:
机械合金化
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颗粒增强
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复合层
,
显微组织结构
张惠
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沈鸿烈
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鲁林峰
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江丰
,
冯晓梅
功能材料
采用射频磁控溅射法在PEN衬底上室温制备了AZO薄膜,并对不同工作气压下(0.05～0.4Pa)沉积薄膜的结构及光电性能进行了研究.结果表明,薄膜具有良好的c轴择优取向,随工作气压增大,薄膜(002)峰强度减弱,晶粒减小,表面粗糙度增大,电学性能下降,薄膜可见光透过率变化不大,但禁带宽度变窄.与玻璃衬底相比,PEN衬底上沉积的AZO薄膜拥有更高的品质因数,获得的最佳电阻率、载流子浓度和霍尔迁移率分别为1.11×10-3Ω·cm、4.14×1020cm-3和13.60cm2/(V·s),该薄膜可见光的绝对透射率达到95.7%.
关键词:
AZO薄膜
,
磁控溅射
,
工作气压
,
PEN衬底
