任明放
,
冯湘
,
王华
,
许积文
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2010.02.006
采用直流磁控溅射工艺,室温下在载玻片上制备ZnO:Al透明导电薄膜.研究Al掺杂和溅射功率对薄膜生长取向、微观结构和电阻率的影响.研究表明:不同溅射功率下Al掺杂ZnO薄膜均为高度c-轴择优取向生长;在1%～3%(质量分数)的掺杂范围内,薄膜的电阻率随掺杂孱的增加而减小,掺杂的质量分数超过3%后,薄...
关键词:
氧化锌铝
,
透明导电薄膜
,
导电性能
,
磁控溅射
冯湘
,
王华
人工晶体学报
采用溶胶-凝胶工艺制备了Bi4-xLaxTi3O12和Bi4Ti3-yNbyO12铁电薄膜,研究了La、Nb掺杂对薄膜介电性能和C-V特性的影响.研究表明,在x<0.75、y<0.06范围内,随La、Nb掺杂量的增加, Bi4-xLaxTi3O12和Bi4Ti3-yNbyO12薄膜的介电...
关键词:
Bi4Ti3O12薄膜
,
介电性能
,
漏电流
,
C-V特性
