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掺铝氧化锌薄膜表面织构机制的研究

郜小勇 , 林清耿 , 冯红亮 , 陈永生 , 杨仕娥 , 谷锦华 , 卢景霄

功能材料

采用氯化铵(NH4Cl)溶液对磁控溅射技术制备的掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对其表面织构机制进行研究.研究结果表明NH4Cl溶液优先与间隙锌、间隙铝等缺陷和晶界处的堆积铝反应,而较大的相对应力和稀疏表面有助于间隙锌、间隙铝等缺陷和堆积铝的形成.它们对NH4Cl对AZO薄膜的表面织构很关键.

关键词: 氯化铵 , 掺铝氧化锌薄膜 , 表面织构