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AlN/Si衬底上ZnO薄膜的择优取向生长

王磊 , 冷杉 , 王波 , 黄安平 , 李小换 , 朱满康 , 严辉

功能材料

当ZnO薄膜直接沉积在Si衬底上时,由于ZnO与Si的晶格失配度大,不易于获得高质量的ZnO薄膜.因此,选择合适的衬底材料沉积ZnO薄膜,对提高其质量非常重要.本文采用射频磁控溅射法,通过在Si(100)衬底上预沉积AlN作为ZnO薄膜生长的缓冲层,获得了择优取向的ZnO薄膜.我们还讨论了ZnO薄膜在AlN/Si衬底上的取向生长机理.

关键词: ZnO薄膜 , 磁控溅射 , 择优取向