韩玲利
,
刘承立
,
王泽新
,
刁兆玉
催化学报
应用原子和表面簇合物相互作用的5参数Morse势方法研究了氧原子在W低指数表面及(211)高指数表面上的吸附和振动.计算结果表明,低覆盖度下,在W(100)面氧原子吸附在四重洞位,随着覆盖度增加,(100)面发生缺行重构,膺式三重位为稳定吸附位;在W(110),(111)及(211)面,氧原子均趋向于吸附在膺式三重位.该计算结果和实验符合得很好.
关键词:
氧
,
钨
,
表面体系
,
吸附
,
振动
,
莫尔斯势
李传波
,
李怀祥
,
刁兆玉
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.06.013
从单晶硅内氢杂质的引入,氢钝化施主,钝化受主,钝化缺陷等几方面对近年来单晶硅内氢杂质的特性研究进行了综述,强调了氢加速氧扩散、加速热施主与氧沉淀的形成等性质,讨论了氢在单晶硅内的存在状态及硅片在氢气氛中的退火特性.
关键词:
单晶硅
,
氢
,
氢退火
,
红外光谱
,
缺陷
