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一种MEMS微流量传感器的设计与分析

刘亚欣 , 陈立国 , 孙立宁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.001

近年来,用于生物,制药等领域的微量试剂自动化分配技术不断发展,往往需要进行微量快速的液体流量检测.本文设计了一种基于压差原理,通过测量液体流过精密微流量通道产生的压差实现流速快速测量的集成高速微流量传感器,并用MEMS技术进行本体结构和微流体通道的制作.通过理论计算以及传感器静态和动态建模分析,指出...

关键词: 流量传感器 , 微机械系统 , 传感器建模