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原词结果 | 译词结果

硅薄膜的热丝法淀积

罗志强 , 吴瑞华 , 刘莉 , 王世昌 , 刘嘉禾

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1999.04.013

系统地研究了热丝化学气相沉积技术中沉积气压、气体流量、钨丝温度、衬底温度对硅薄膜的结构、生长速率和光电性能的影响.通过优化各工艺参数,成功地制备出光暗电导比达104的非晶硅薄膜和晶粒尺寸达微米量级的晶相良好的多晶硅薄膜.

关键词: 热丝法 , 非晶硅薄膜 , 多晶硅薄膜

我国低合金钢及微合金钢的发展、问题和方向

东涛 , 刘嘉禾

钢铁

总结了近几年我国低合金钢及微合金钢的主要进展,结合国外低合金高强度钢的发展趋势和学科前沿的研究,提出了我国工程结构用低合金钢的发展方向和开展相关工作的建议.

关键词: 低合金钢 , 微合金钢 , 发展 , 方向

氧分压对HfOxNy薄膜结构和力学性能的影响

刘伟 , 苏小平 , 张树玉 , 闫兰琴 , 王宏斌 , 刘嘉禾

人工晶体学报

采用射频磁控反应溅射法在不同氧分压条件下制备了氮氧化铪薄膜,薄膜沉积过程在氧气、氮气和氩气的混合气氛中进行,所用衬底为多光谱硫化锌材料.用X射线衍射、扫描电子显微镜、纳米硬度计等分别研究了不同氧分压条件下HfOxNy薄膜的晶体结构、显微结构、力学性能等.结果表明:在氧分压为0.05～0.30范围内,...

关键词: 氮氧化铪薄膜 , 射频磁控反应溅射 , 晶体结构 , 显微结构 , 力学性能

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